Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин

Please use this identifier to cite or link to this item: https://rep.vsu.by/handle/123456789/5054

Title:	Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин
Authors:	Бохан, Ю. И. Каменков, В. С. Семашко, В. И. Толочко, Н. К.
Keywords:	кремниевые пластины лазерная обработка лазерное излучение лазерные технологии энергетические режимы
Issue Date:	2010
Publisher:	Установа адукацыі "Віцебскі дзяржаўны ўніверсітэт імя П.М. Машэрава"
Citation:	Веснік Віцебскага дзяржаўнага ўніверсітэта. – 2010. – N 3 (57). – С. 42-48. – Библиогр.: с. 47-48 (6 назв.).
Abstract:	Под воздействием лазерного излучения на поверхности твердых тел происходят структурные и морфологические перестройки, исследование закономерностей которых представляет значительный научный и практический интерес в связи с созданием материалов с заданными свойствами.
URI:	https://rep.vsu.by/handle/123456789/5054
ISSN:	2074-8566
Appears in Collections:	2010, №3(57)