Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин

Бохан, Ю. И.; Каменков, В. С.; Семашко, В. И.; Толочко, Н. К.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.vsu.by/handle/123456789/5054

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Бохан, Ю. И.	-
dc.contributor.author	Каменков, В. С.	-
dc.contributor.author	Семашко, В. И.	-
dc.contributor.author	Толочко, Н. К.	-
dc.date.accessioned	2014-10-29T11:37:10Z	-
dc.date.available	2014-10-29T11:37:10Z	-
dc.date.issued	2010	-
dc.identifier.citation	Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин / Ю. И. Бохан [и др.] // Веснік Віцебскага дзяржаўнага ўніверсітэта. – 2010. – N 3 (57). – С. 42-48. – Библиогр.: с. 47-48 (6 назв.).	ru_RU
dc.identifier.issn	2074-8566	-
dc.identifier.uri	https://rep.vsu.by/handle/123456789/5054	-
dc.description.abstract	Под воздействием лазерного излучения на поверхности твердых тел происходят структурные и морфологические перестройки, исследование закономерностей которых представляет значительный научный и практический интерес в связи с созданием материалов с заданными свойствами.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Установа адукацыі "Віцебскі дзяржаўны ўніверсітэт імя П.М. Машэрава"	ru_RU
dc.subject	кремниевые пластины	ru_RU
dc.subject	лазерная обработка	ru_RU
dc.subject	лазерное излучение	ru_RU
dc.subject	лазерные технологии	ru_RU
dc.subject	энергетические режимы	ru_RU
dc.title	Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
Располагается в коллекциях:	2010, №3 (57)