Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях

Please use this identifier to cite or link to this item: https://rep.vsu.by/handle/123456789/46073

Title:	Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях
Authors:	Завадский, С. М.
Keywords:	техника плазменная обработка ион пленка магнетрон ионно-лучевой источник адгезия оксид рельеф нанесение распыление
Issue Date:	2002
Publisher:	Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Citation:	Завадский, С. М. Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : автореферат диссертации на соиск. уч. степ. канд. техн. наук / С. М. Завадский ; УО "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". – Мн., 2002. – 22 с.
URI:	https://rep.vsu.by/handle/123456789/46073
Appears in Collections:	Авторефераты диссертаций