Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.vsu.by/handle/123456789/46073

Заглавие:	Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях
Авторы:	Завадский, С. М.
Ключевые слова:	техника плазменная обработка ион пленка магнетрон ионно-лучевой источник адгезия оксид рельеф нанесение распыление
Дата публикации:	2002
Издательство:	Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Библиографическое описание:	Завадский, С. М. Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : автореферат диссертации на соиск. уч. степ. канд. техн. наук / С. М. Завадский ; УО "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". – Мн., 2002. – 22 с.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса):	https://rep.vsu.by/handle/123456789/46073
Располагается в коллекциях:	Авторефераты диссертаций