Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях

Завадский, С. М.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://rep.vsu.by/handle/123456789/46073

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Завадский, С. М.	-
dc.date.accessioned	2025-02-11T12:23:57Z	-
dc.date.available	2025-02-11T12:23:57Z	-
dc.date.issued	2002	-
dc.identifier.citation	Завадский, С. М. Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях : автореферат диссертации на соиск. уч. степ. канд. техн. наук / С. М. Завадский ; УО "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". – Мн., 2002. – 22 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://rep.vsu.by/handle/123456789/46073	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники	ru_RU
dc.subject	техника	ru_RU
dc.subject	плазменная обработка	ru_RU
dc.subject	ион	ru_RU
dc.subject	пленка	ru_RU
dc.subject	магнетрон	ru_RU
dc.subject	ионно-лучевой источник	ru_RU
dc.subject	адгезия	ru_RU
dc.subject	оксид	ru_RU
dc.subject	рельеф	ru_RU
dc.subject	нанесение	ru_RU
dc.subject	распыление	ru_RU
dc.title	Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях	ru_RU
dc.type	Book	ru_RU
Appears in Collections:	Авторефераты диссертаций