Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования

Голосов, Д. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://rep.vsu.by/handle/123456789/41827

Title:	Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования
Authors:	Голосов, Д. А.
Keywords:	авторефераты диссертаций общая технология плазменная обработка тонкие пленки сверхтвердые материалы ионно-лучевое распыление ионное ассистирование нитрид бора производство полупроводников 05.27.06
Issue Date:	2002
Publisher:	Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Citation:	Голосов, Д. А. Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : автореферат диссертации на соиск. уч. степ. канд. техн. наук / Д. А. Голосов ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2002. – 24 с.
Abstract:	Проведены исследования эффектов взаимодействия интенсивных ионных потоков с поверхностью в процессах роста и модификации тонкопленочных слоев на основе сверхтвердых материалов. Разработано и создано экспериментальное оборудование для формирования тонкопленочных покрытий методом двойного ионно-лучевого распыления и несбалансированного магнетронного распыления.
URI:	https://rep.vsu.by/handle/123456789/41827
Appears in Collections:	Авторефераты диссертаций