Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования

Голосов, Д. А.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.vsu.by/handle/123456789/41827

Заглавие:	Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования
Авторы:	Голосов, Д. А.
Ключевые слова:	авторефераты диссертаций общая технология плазменная обработка тонкие пленки сверхтвердые материалы ионно-лучевое распыление ионное ассистирование нитрид бора производство полупроводников 05.27.06
Дата публикации:	2002
Издательство:	Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Библиографическое описание:	Голосов, Д. А. Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : автореферат диссертации на соиск. уч. степ. канд. техн. наук / Д. А. Голосов ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2002. – 24 с.
Аннотация:	Проведены исследования эффектов взаимодействия интенсивных ионных потоков с поверхностью в процессах роста и модификации тонкопленочных слоев на основе сверхтвердых материалов. Разработано и создано экспериментальное оборудование для формирования тонкопленочных покрытий методом двойного ионно-лучевого распыления и несбалансированного магнетронного распыления.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса):	https://rep.vsu.by/handle/123456789/41827
Располагается в коллекциях:	Авторефераты диссертаций