Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования

Голосов, Д. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://rep.vsu.by/handle/123456789/41827

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.date.accessioned	2024-02-27T12:46:17Z	-
dc.date.available	2024-02-27T12:46:17Z	-
dc.date.issued	2002	-
dc.identifier.citation	Голосов, Д. А. Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : автореферат диссертации на соиск. уч. степ. канд. техн. наук / Д. А. Голосов ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2002. – 24 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://rep.vsu.by/handle/123456789/41827	-
dc.description.abstract	Проведены исследования эффектов взаимодействия интенсивных ионных потоков с поверхностью в процессах роста и модификации тонкопленочных слоев на основе сверхтвердых материалов. Разработано и создано экспериментальное оборудование для формирования тонкопленочных покрытий методом двойного ионно-лучевого распыления и несбалансированного магнетронного распыления.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники	ru_RU
dc.subject	авторефераты диссертаций	ru_RU
dc.subject	общая технология	ru_RU
dc.subject	плазменная обработка	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки	ru_RU
dc.subject	сверхтвердые материалы	ru_RU
dc.subject	ионно-лучевое распыление	ru_RU
dc.subject	ионное ассистирование	ru_RU
dc.subject	нитрид бора	ru_RU
dc.subject	производство полупроводников	ru_RU
dc.subject	05.27.06	ru_RU
dc.title	Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования	ru_RU
dc.type	Book	ru_RU
Appears in Collections:	Авторефераты диссертаций