Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин

Бохан, Ю. И.; Каменков, В. С.; Семашко, В. И.; Толочко, Н. К.

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.vsu.by/handle/123456789/5054

Заглавие:	Влияние энергетических режимов лазерного излучения на модифицирование поверхности кремниевых пластин
Авторы:	Бохан, Ю. И. Каменков, В. С. Семашко, В. И. Толочко, Н. К.
Ключевые слова:	кремниевые пластины лазерная обработка лазерное излучение лазерные технологии энергетические режимы
Дата публикации:	2010
Издательство:	Установа адукацыі "Віцебскі дзяржаўны ўніверсітэт імя П.М. Машэрава"
Библиографическое описание:	Веснік Віцебскага дзяржаўнага ўніверсітэта. – 2010. – N 3 (57). – С. 42-48. – Библиогр.: с. 47-48 (6 назв.).
Аннотация:	Под воздействием лазерного излучения на поверхности твердых тел происходят структурные и морфологические перестройки, исследование закономерностей которых представляет значительный научный и практический интерес в связи с созданием материалов с заданными свойствами.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса):	https://rep.vsu.by/handle/123456789/5054
ISSN:	2074-8566
Располагается в коллекциях:	2010, №3(57)